美國BROOKS布魯克斯公司熱式質量流量計是為了滿足有關工藝過程中對測量精度、重復性和控制方面的要求而設計的產(chǎn)品。它與傳統(tǒng)的體積流量儀器截然不同，brooks氣體質量流量控制器通過被測氣體的比熱來測量流量，不受溫度、壓力變化的影響。因此該產(chǎn)品在各種不同的工作環(huán)境下均有較高的精度。被測流量可設計成質量或體積單位。此外，所有BROOKS INSTRUMENT質量流量計產(chǎn)品都能同現(xiàn)有的工業(yè)儀表兼容。

一、brooks氣體質量流量控制器概覽

Brooks的數(shù)字與模擬熱式質量流量控制器具有業(yè)界*的性能—我們的許多產(chǎn)品都已連續(xù)工作了20年以上。我們的新型熱式質量流量設備在響應時間、精度、可重復性、調節(jié)比及自診斷方面均具有顯著的優(yōu)勢。

我們的熱式質量流量產(chǎn)品還通過了多種防護（IP）認證，適用于多種危險場所。

二、brooks氣體質量流量控制器產(chǎn)品特點

• 較低的泄漏率
• 結構緊湊
• 內(nèi)螺紋排氣口拋光處理
• 常閉閥
• 對安裝位置不敏感

三、brooks氣體質量流量控制器技術參數(shù)

• 數(shù)字信號/模擬信號輸出,可通過電腦直接顯示控制,可配單/四/八通道顯示控制器
• 介質:可選H2,O2等非腐蝕性氣體或SiO2,SO2等腐蝕性氣體
• 流量范圍:0.03-30slpm
• 量程比：50:1
• 大工作壓力: 1500psi(10.432Mpa)
• 氣路接頭: 1/4"VCR或1/4"SWG
• 電氣接頭:15 Pins D-Type或Card-edge
• 精度:±1%FS
• 重復性：0.25% of rate
• 響應時間：1-3s
• 差壓要求：3-6bar（壓差要求與介質、量程有關）
• 操作溫度范圍：5~65℃
• 輸出信號：0-5VDC或4-20mA
• 電源：+/-15V

?四、brooks氣體質量流量控制器其他系列產(chǎn)品

• SLA5800S---數(shù)字型氣體質量流量計/控制器
• SLA5800 enhanced series
• 4800 series
• 5800S series
• 5851EM