熱式質(zhì)量流量控制器是一種用于測(cè)量和控制氣體或液體的質(zhì)量流量?jī)x表。它可以自動(dòng)控制氣體流量，即用戶可以根據(jù)需要設(shè)定流量，MFC可以自動(dòng)保持流量恒定在設(shè)定值。即使系統(tǒng)壓力波動(dòng)或環(huán)境溫度變化，也不會(huì)偏離設(shè)定值。

　　該產(chǎn)品通常由電路板、傳感器、進(jìn)出口管接頭、分流器管、外殼、調(diào)節(jié)閥等部件組成。它是一種可手動(dòng)設(shè)置或與計(jì)算機(jī)自動(dòng)連接的氣體流量穩(wěn)定裝置。簡(jiǎn)單來說，本產(chǎn)品也是一種穩(wěn)流裝置。

　　該控制器也被制造用來測(cè)量和監(jiān)控從每分鐘幾毫升到每分鐘幾千升的范圍。它的連接方式也有很多種，比如卡套連接、螺紋連接、寶塔嘴連接以及法蘭連接等多種方式。

　　正是因?yàn)?strong>熱式質(zhì)量流量控制器準(zhǔn)確度高，重復(fù)性好的特點(diǎn)，進(jìn)而被很多領(lǐng)域都接受，比如它可應(yīng)用在石油化工，冶金，制藥，汽車電子，實(shí)驗(yàn)室，環(huán)保行業(yè)，制氣配氣等行業(yè)中。在檢測(cè)氣體或液體的擴(kuò)散，氧化，光纖熔煉，離子注入，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，以及真空鍍膜設(shè)備，微反應(yīng)裝置，混氣配氣系統(tǒng)，毛細(xì)管測(cè)量氣象色譜儀，光導(dǎo)纖維制造設(shè)備中都有用到本產(chǎn)品，可見該產(chǎn)品的作用之大。

　　該控制器特點(diǎn)：

　　1、高精度

　　2、流量范圍寬 - 從0.003一直到 2500 lpm

　　3、耐壓等級(jí) - 高達(dá) 1500 psi/100 bar（可選：4500 psi/310 bar）

　　4、可編程多氣體/多量程功能

　　5、可單獨(dú)輕松訪問的診斷/維護(hù)端口

　　熱式質(zhì)量流量控制器采用熱擴(kuò)散原理，而熱擴(kuò)散技術(shù)是一種在惡劣條件下具有優(yōu)良性能和高可靠性的技術(shù)。本控制器是一種無需溫度、壓力補(bǔ)償，對(duì)管道內(nèi)各種氣體流動(dòng)進(jìn)行方便、準(zhǔn)確監(jiān)測(cè)的產(chǎn)品。它是一種新型的流量測(cè)量和監(jiān)測(cè)儀器。